Showing papers by "Xiaolei Liu published in 2018"
Patent•
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13 Jul 2018
TL;DR: In this article, the authors present MEMS, a MEMS-based group of MEMS members, which consists of six MEMS groups, including MEMS 1, MEMS 2 and MEMS 3.
Abstract: 플랫폼을 6자유도로 운동시키는 패키지가 제공된다. 플랫폼은 그 위에 장착된 광전자 소자를 포함할 수 있다. 패키지는 MEMS 액튜에이터일 수 있는 면내 액튜에이터와 압전 소자로 구성될 수 있는 면외 액튜에이터를 포함한다. 면내 MEMS 액튜에이터는 PCB 내의 인입부에 장착된 면외 액튜에이터 상에 장착될 수 있다. 면내 MEMS 액튜에이터는 반대쪽 빗들의 빗살들의 서로 중첩, 즉 서로의 단부들을 지나 연장되는 복수의 빗 구조들을 포함한다. 면외 액튜에이터는 중앙 부분과 중앙 부분에 연결되는 복수의 둘러싸는 스테이지들을 포함한다. 면내 MEMS 액튜에이터는 면외 Z 액튜에이터에 결합되어 패키지에 포함된 광전자 소자가 될 수 있는 탑재물에 3 자유도를 제공한다.
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